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産品名稱：高(gāo)精度熒光光纖溫度解調儀FAS1
産品特點：體(tǐ)積小(xiǎo)巧，全鋁合金外殼，全屏蔽設計(jì)，面闆固定孔位設計(jì)，易于設備內(nèi)部集成安裝；數(shù)字溫度信号輸出，采用标準Modbus RTU協議，易于集成開(kāi)發。
品牌正品
量身定制(zhì)
多(duō)年行(xíng)業沉澱高(gāo)精度熒光光纖溫度解調儀專為(wèi)刻蝕機晶圓溫度監測定制(zhì)，集光源激勵和(hé)熒光溫度解調分析于一體(tǐ)，帶有(yǒu)光路自診斷功能，體(tǐ)積小(xiǎo)，響應快，準确性高(gāo)，帶數(shù)字信号輸出，支持标準Modbus RTU 協議等多(duō)種協議，支持Ekova多(duō)種型号熒光傳感器(qì)。
熒光光纖測溫屬于接觸式測溫方式。該裝置依據測量熒光餘晖壽命的長短(duǎn)來(lái)實現溫度測量。塗抹在遠處測溫端的熒光物質受到特定波長的光激勵後,會(huì)輻射出相應的熒光能量。撤銷掉特定波長的光激勵後,熒光餘晖開(kāi)始衰減。熒光餘晖持續的長短(duǎn)就取決于位于測溫探頭上(shàng)的熒光物質,即待測物質的溫度。特定波長光激勵的選擇和(hé)所選的熒光物質是相匹配的,不同的熒光物質的最有(yǒu)效的激發光波長是不同的。選擇的時(shí)候要重點考慮選擇光波長最具有(yǒu)适合激發熒光物質的光激勵。通(tōng)常光激發的熒光物質衰減曲線為(wèi)單指數(shù)形式。
FAS1高(gāo)精度熒光光纖溫度解調儀專為(wèi)刻蝕機晶圓溫度監測定制(zhì)，集光源激勵和(hé)熒光溫度解調分析于一體(tǐ)，帶有(yǒu)光路自診斷功能，體(tǐ)積小(xiǎo)，響應快，準确性高(gāo)，帶數(shù)字信号輸出，支持标準Modbus RTU 協議等多(duō)種協議，支持Ekova多(duō)種型号熒光傳感器(qì)。
規格參數(shù)
| 測溫通(tōng)道(dào)數(shù) | 1 |
| 測溫範圍 | -20℃~70℃ |
| 測溫精度 | ±0.3℃ |
| 分辨率 | 0.05℃ |
| 響應時(shí)間(jiān) | ≤150ms |
| 工作(zuò)電(diàn)壓 | DC 24V（輸入電(diàn)壓範圍DC 12-24V） |
| 功耗 | 500mW |
| 光學接口 | FC |
| 适配的光纖溫度傳感器(qì)型号 | SSA71-F93N-0 |
| 設備尺寸 | 104*81.2*53（長*寬*高(gāo) 單位mm） |
| 設備重量 | ≤250g |
| 通(tōng)訊接口 | RS 485 |
| 通(tōng)訊協議 | 标準Modbus RTU協議 |
| 設備接口 | DB15插針接口 |
| 運行(xíng)溫度 | -20-55℃ |
| 存貯溫度 | -40-80℃ |
| 存儲相對濕度 | 20%-80%（無凝結） |
外形結構
選型說明(míng)
● 蝕刻機熱點光纖溫度在線監測
● 沉積設備熱點光纖溫度在線監測
