靜電(diàn)卡盤表面反應區(qū)的溫度對穩定工藝至關重要，電(diàn)子式溫度傳感器(qì)的測溫穩定性和(hé)精度容易受電(diàn)磁幹擾。刻蝕機反應區(qū)存在較強射頻場(chǎng)，射頻場(chǎng)的磁場(chǎng)幹擾會(huì)影(yǐng)響電(diàn)子式溫度傳感器(qì)的穩定性，進而對靜電(diàn)卡盤的溫度控制(zhì)帶來(lái)不穩定性。熒光溫度傳感器(qì)是使用稀土熒光物質的光學物性來(lái)測量溫度的光學測溫方式，性能不受電(diàn)磁幹擾，結構無導體(tǐ)，還(hái)可(kě)使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影(yǐng)響熱控。
熒光光纖測溫技(jì)術(shù)，是基于光緻發光現象，使用特殊的熒光材料，通(tōng)過檢測熒光壽命與溫度變化的對應關系，來(lái)測得(de)所需要的溫度值。利用熒光物質被激發後發光特性與溫度線性相關的特性，使用寬譜光做(zuò)為(wèi)激發媒介，光纖做(zuò)為(wèi)傳導介質，将熒光物質與光纖封裝為(wèi)一體(tǐ)而制(zhì)成。傳感器(qì)感溫物質使用金屬封裝，重複性好，精度高(gāo)，響應快，壽命長，可(kě)應用于對壽命及抗幹擾有(yǒu)嚴格要求的領域。
實時(shí)監測刻蝕機靜電(diàn)卡盤熱點溫度
有(yǒu)效評估刻蝕機運行(xíng)狀态，增強系統可(kě)靠性與穩定。
長期在線監測刻蝕機溫度變化趨勢
Tmeas Log溫度記錄系統是針對需要持續采集溫度測溫場(chǎng)景開(kāi)發的 PC 端溫度數(shù)據采集系統，能夠根據測溫場(chǎng)溫度變化構建溫度變化分析趨勢曲線，實施事前管理(lǐ)和(hé)風險預測。
實時(shí)監測設備運行(xíng)狀态和(hé)進行(xíng)故障分析
獨有(yǒu)自診斷功能，通(tōng)過內(nèi)部光電(diàn)信号檢測和(hé)算(suàn)法，可(kě)有(yǒu)效識别光纖傳感器(qì)故障類型，防止誤報、錯報等現象的發生(shēng)。
提供動态、實時(shí)、可(kě)靠的溫度信息
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來(lái)進行(xíng)溫度測量，測溫性不受電(diàn)磁幹擾。
測溫範圍 | -20℃~70℃ |
測溫精度 | ±0.3℃ |
測溫分辨率 | 0.05℃ |
測溫通(tōng)道(dào)數(shù) | 1 |
響應時(shí)間(jiān) | ≤150ms |
溫度單位 | ℃ |
供電(diàn) | DC 24V（輸入電(diàn)壓範圍DC 12-24V） |
運行(xíng)溫度 | -20-55℃ |
存貯溫度 | -40-80℃ |
存儲相對濕度 | 20%-80%（無凝結） |
| 設備功耗 | 500mW |
| 結構尺寸 | 104*81.2*53（長*寬*高(gāo) 單位mm） |
| 通(tōng)訊協議 | 标準Modbus RTU協議 |
| 通(tōng)訊接口 | RS 485 |
| 設備接口 | DB15插針接口 |
| 設備重量 | ≤250g |
| 電(diàn)源輸入 | DC 24V（輸入電(diàn)壓範圍DC 12-24V） |
| 光纖連接器(qì)類型 | FC |
| 最小(xiǎo)彎曲半徑 | 50mm |
| 長度要求 | 1.5m |
| 光纜耐受溫度 | -40℃～80℃ |
熒光溫度傳感器(qì)屬于全光測量裝置
隻有(yǒu)光信号沒有(yǒu)電(diàn)信号，屬于是真正的無源探頭。
對電(diàn)磁幹擾本質免疫
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來(lái)進行(xíng)溫度測量，測溫性不受電(diàn)磁幹擾。
測溫周期短(duǎn)，實時(shí)性高(gāo)
測溫周期小(xiǎo)于1秒(miǎo)，可(kě)充分保證溫度數(shù)據的可(kě)靠性。
具備自診斷功能，安全可(kě)靠
通(tōng)過內(nèi)部光電(diàn)信号檢測和(hé)算(suàn)法，可(kě)有(yǒu)效識别光纖傳感器(qì)故障類型，防止誤報、錯報等現象的發生(shēng)。
解調儀和(hé)光纖溫度探頭交換使用，無需标定
不存在熱電(diàn)偶的溫度漂移，不需要紅外溫度傳感器(qì)表面發射率修正等。
● 蝕刻機熱點光纖溫度在線監測
● 沉積設備熱點光纖溫度在線監測
| 設備名稱 | 型号 | 數(shù)量 | 備注 |
| 熒光光纖溫度傳感器(qì) | SSA7 | 1 | 标準長度：1.5m（特殊長度可(kě)定制(zhì)） |
| 高(gāo)精度熒光光纖溫度解調儀 | FAS1 | 1 | 标準通(tōng)道(dào)數(shù)：1 |
| 系統軟件 | Tmeas LOG | 1 | 選配 |
