靜電(diàn)卡盤表面反應區(qū)的溫度對穩定工藝至關重要，電(diàn)子式溫度傳感器(qì)的測溫穩定性和(hé)精度容易受電(diàn)磁幹擾。刻蝕機反應區(qū)存在較強射頻場(chǎng)，射頻場(chǎng)的磁場(chǎng)幹擾會(huì)影(yǐng)響電(diàn)子式溫度傳感器(qì)的穩定性，進而對靜電(diàn)卡盤的溫度控制(zhì)帶來(lái)不穩定性。熒光溫度傳感器(qì)是使用稀土熒光物質的光學物性來(lái)測量溫度的光學測溫方式，性能不受電(diàn)磁幹擾，結構無導體(tǐ)，還(hái)可(kě)使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影(yǐng)響熱控。

TOTF油浸式變壓器(qì)繞組熱點光纖在線監測系統是基于熒光測溫原理(lǐ)研發的一套測溫系統，可(kě)應用于油浸式變壓器(qì)繞組熱點、GIS設備內(nèi)部熱點、氣體(tǐ)絕緣式高(gāo)壓開(kāi)關內(nèi)部熱點溫度監測等。系統具有(yǒu)自診斷、測溫速度快、精準度高(gāo)的特點；且熒光光纖傳感器(qì)工藝成熟，一緻性較好；能夠在線監測各熱點溫度信息，并實時(shí)顯示在本地顯示系統及後台數(shù)據終端。

開(kāi)關櫃、箱式變電(diàn)站(zhàn)、母線電(diàn)纜橋架等是最重要的電(diàn)氣設備組成部分，其動靜觸頭、母線接頭、電(diàn)纜接頭等長期處于高(gāo)電(diàn)壓、大(dà)電(diàn)流的工作(zuò)狀态下，易出現表面氧化腐蝕、緊固螺栓松動、觸點和(hé)連接處老化等問題，這些(xiē)問題會(huì)導緻接觸電(diàn)阻增大(dà)，引起溫度升高(gāo)，造成電(diàn)氣安全事故。TOSC電(diàn)氣熱點熒光光纖溫度在線監測裝置利用先進的熒光光纖溫度傳感器(qì)技(jì)術(shù)，可(kě)以動态、實時(shí)、安全、精準地提供設備運行(xíng)“熱點”溫度信息，防止設備過熱而出現突發性的安全事故，實現設備由“定期維修”向“狀态檢修”的智能模式轉變。

環網櫃是由多(duō)個(gè)開(kāi)關櫃組成的環裝供電(diàn)組合體(tǐ)，是供電(diàn)保障性設備，多(duō)數(shù)用在對供電(diàn)持續性和(hé)不間(jiān)斷性有(yǒu)要求的領域，目的是保證在任何情況下供電(diàn)的穩定不間(jiān)斷。因此環網櫃自身的穩定性和(hé)安全性就顯得(de)尤為(wèi)重要。針對環網櫃的特殊構造，Tmeas利用熒光測溫原理(lǐ)專門(mén)設計(jì)了一種堵頭式光纖溫度傳感器(qì)，将堵頭接入環網櫃T型頭後，尾部的光接口接入轉接光纜，通(tōng)過轉接光纜将激勵光輸入到探頭位置，并接受熒光物質返回的餘晖，光纖将餘晖信号接入溫度解析儀，解析儀将溫度解析後通(tōng)過顯示表顯示，或将溫度數(shù)據傳輸到後台。