靜電(diàn)卡盤表面反應區(qū)的溫度對穩定工藝至關重要，電(diàn)子式溫度傳感器(qì)的測溫穩定性和(hé)精度容易受電(diàn)磁幹擾。刻蝕機反應區(qū)存在較強射頻場(chǎng)，射頻場(chǎng)的磁場(chǎng)幹擾會(huì)影(yǐng)響電(diàn)子式溫度傳感器(qì)的穩定性，進而對靜電(diàn)卡盤的溫度控制(zhì)帶來(lái)不穩定性。熒光溫度傳感器(qì)是使用稀土熒光物質的光學物性來(lái)測量溫度的光學測溫方式，性能不受電(diàn)磁幹擾，結構無導體(tǐ)，還(hái)可(kě)使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影(yǐng)響熱控。